DRC/LVS 入门:物理验证在查什么
更新时间:2026-09-21。
eda/入门导读。深入细节见专家深稿 DRC/LVS 物理验证。
一句话回答
版图完成后要过两道关:DRC 检查图形几何是否符合制造厂的工艺规则(线宽、间距、包围、密度、天线),不合规则可能短路、开路或良率崩;LVS 把从版图抽取出来的网表和设计原理图网表逐一比对器件与连线,确认版图接的和电路图一致。DRC 管「画得合不合工艺」,LVS 管「画的是不是这个电路」,两者都清零才能交付流片。
一、DRC 在查什么
- width:金属/多晶硅最小宽度,太窄会断;
- spacing:不同网络最小间距,太近会短路;
- enclosure:接触孔/通孔要被金属包围多少;
- density:金属填充密度上下限,影响平坦化(CMP);
- antenna 天线规则:制造中长金属累积电荷打坏栅氧;
- 规则由晶圆厂的工艺套件(PDK/rule deck)给出。
二、LVS 在查什么
工具从版图抽取器件和连接(PEX 的网表部分),与原理图网表比对:
- 器件类型、数量(MOS/电阻/电容);
- 引脚连接关系是否一致;
- 常见错误:短路、开路、漏器件、接反;
- 报告 mismatch/网表对比,定位差异。
三、关系与流程
bash
版图 ──► DRC(几何规则)─┐
└─► 抽取网表 ─► LVS(与原理图比对)─► 都干净 ─► 流片工具常用 Calibre、Hercules、Assura 等;无法满足的规则可申请 waiver(需厂方/团队批准),不能默认忽略。
常见坑
- DRC 和 LVS 混为一谈:一个管几何合规、一个管电路一致,都要单独清零。
- 只清 DRC 不跑 LVS:图形合法但接错线,芯片功能错。
- 忽略 density/天线等「软」规则:同样会被 deck 拦下。
- 滥用 waiver:每条豁免要有依据和审批。
- 改了一处没重跑全量:局部修改可能引入新违规。
- 模拟器件参数/匹配没核对:LVS 过了也可能器件尺寸不满足设计。
总结
DRC 按晶圆厂规则检查版图几何(线宽/间距/包围/密度/天线),LVS 比对版图抽取网表与原理图的器件和连接;一个保工艺可制造、一个保电路没接错,两者全部清零、谨慎使用 waiver 后才能交付流片,专家级细节见深稿。